长度计量基础知识讲座(二十七) 第二十七讲接触式干涉仪

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摘要第二十七讲接触式干涉仪 1概述接触式干涉仪（以下简称干涉仪）是应用光波干涉原理，采用微差比较测量法测量长度的高精度计量仪器。干涉仪由前苏联计量仪器专家乌威尔斯基设计并制造，因此通常称为乌氏干涉仪。干涉仪主要用于检定尺寸小于150mm的3等及以下量块的尺寸，也可以对其他高精度零件进行精密测量或作高精度测量的定位。

作者顾耀宗

机构地区上海市计量测试技术研究院

出处《上海计量测试》 2011年第2期55-56,共2页 Shanghai Measurement and Testing

关键词知识讲座计量基础长度接触式干涉仪比较测量法高精度测量计量仪器乌氏干涉仪

分类号 TB921 [一般工业技术—计量学]

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上海计量测试

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