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化工标准化动态

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摘要与硅相关的系列国家标准1 1）GB/T1551-2009《硅单晶电阻率测定方法》。规定了用直排四探针法测量硅单晶电阻率的方法。适用于测量试样厚度和从试样边缘与任一探针端点的最近距离二者均大于探针间距的4倍的硅单晶体电阻率以及测量直径大于探针间距10倍、厚度小于探针间距4倍的硅单晶圆片的电阻率。

出处《化工生产与技术》 CAS 2011年第1期64-64,共1页 Chemical Production and Technology

关键词化工标准化四探针法体电阻率试样厚度硅单晶国家标准测定方法最近距离

分类号 TQ-65 [化学工程]

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化工生产与技术

2011年第1期

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