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ISO洁净室标准与209E的对比被引量：1

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摘要分析ISO洁净室标准与美国联邦标准209E二者的异同之处,对洁净室的设计和运行有所依据。

作者张中宇

机构地区中国电子工程设计院

出处《洁净与空调技术》 1999年第4期41-44,共4页 Contamination Control & Air-Conditioning Technology

关键词 ISO 洁净室标准 209E 微粒浓度基准粒径

分类号 TU834.854 [建筑科学—供热、供燃气、通风及空调工程]

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洁净与空调技术

1999年第4期

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