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α粒子能损法精确测量膜厚 被引量:2

Accurate film thickness measurement using α particle energy loss method
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摘要 利用α射线与材料的相互作用设计测量薄膜厚度的方法.用SRIM软件模拟计算了α粒子在Au膜和核乳胶中的运动,对Au膜厚度、α粒子在核乳胶中的射程实验数据结果分别用Mathematica数值求解和SRIM软件计算.可根据径迹的长短、粗细鉴定粒子的种类和能量. Based on the interactions of α particle and materials,a method to measure film thickness accurately is developed.The movements of α particle in Au film and emulsion are simulated using SRIM program.The experimental data of the thickness of Au film and the range of α particle in the emulsion are calculated using Mathematica and SRIM program.The types and energy of particle are determined according to the length and thickness of the track.
出处 《物理实验》 北大核心 2010年第12期24-27,共4页 Physics Experimentation
基金 浙江大学研究生核心课程建设项目(No.188310 No.123220111) 2008年度国家大学生创新性实验计划
关键词 Α粒子 膜厚 核乳胶 SRIM软件 α particle film thickness emulsion SRIM program
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