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立方氮化硼单晶——金刚石薄膜异质P—N结
被引量:
5
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摘要
本文在Si掺杂N型片状立方氮化硼单晶(111)面上利用热灯丝化学汽相沉积方法生长了掺B的P型金刚石薄膜,从而制得了立方氮化硼单晶-金刚石薄膜异质P-N结,测试了该P-N结的V-A特性,结果表明其整流特性良好。
作者
张铁臣
高春晓
机构地区
吉林大学超硬材料国家重点实验室
出处
《超硬材料与工程》
1999年第2期7-9,共3页
关键词
金刚石多晶膜
CBN
单晶体
P-N结
分类号
TG73 [金属学及工艺—刀具与模具]
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超硬材料与工程
1999年 第2期
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