摘要
目前，在很多场合需要提供载体的姿态、速度等导航信息，而这些领域往往要求导航设备满足以下条件：低成本。能被安装在小的空间内，能靠电池供电工作。而MEMS传感器能轻易满足这些条件，易于被集成为嵌入式系统，方便使用。而且，相对于传统的惯性传感器来说，由于其采用硅微工艺，其可靠性及环境适应性获得了极大的提高，能承受大的冲击和振动，适用于较恶劣的环境，所以应用前景非常广阔。
出处
《应用科技》
CAS
2010年第7期I0001-I0001,共1页
Applied Science and Technology
