摘要
随着IC产业与光伏产业的迅速发展,硅片的应用范围越来越大,对硅片加工技术越来越重视。与发达国家相比,我国在硅材料的截断、切片等切割技术及设备等方面的研究与制造还相对落后。本文较详细地介绍了采用固结磨粒金钢石线切割技术的截断机设计,并从切割尺寸、切割损耗及切割效率等方面对研制设备的使用效果进行了比较说明。
出处
《制造业自动化》
北大核心
2010年第6期52-53,113,共3页
Manufacturing Automation
基金
浙江省教育厅科研计划项目(Y200909278)"硅材料金刚石线锯技术的研究与应用"