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第十六讲真空系统的操作与维护

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摘要（上接2010年第2期88页）系统操作时,可先用粗抽泵将真空室抽到200 Pa左右,然后启动低温泵的压缩机进行冷却,如果泵体是用氮气吹除过的,那么开始时聚集在吸附剂上的水蒸气是不多的。待泵冷却后及系统达到转换压力后,关闭粗抽阀并打开高真空阀,低温泵开始工作。

作者张以忱

机构地区东北大学

出处《真空》 CAS 北大核心 2010年第3期86-88,共3页 Vacuum

关键词真空系统真空技术操作讲座应用维护低温泵真空阀

分类号 TB743 [一般工业技术—材料科学与工程] TB79 [一般工业技术—真空技术]

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真空

2010年第3期

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