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测射镀膜机自控系统

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摘要本文以通用计算机和ＣＱＭ１－ＣＰＵ４２－Ｅ和ＰＬＣ－８１８数据采集卡，组成参数监测与控制系统，使测射镀膜机实现自动化。

作者郑尚清石玉贤

机构地区核工业西南物理研究院

出处《自动化信息》 1998年第6期25-29,共5页 Automation Information

关键词溅射镀膜机自动控制系统镀膜机电镀

分类号 TQ153 [化学工程—电化学工业]

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自动化信息

1998年第6期

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