摘要
本文在一些成功的微流体器件的设计加工基础上,提出了一种计算机控制的微流量测量与控制系统,对各个微机械器件做了介绍,并分析了系统的可行性。
A computer controlled micro flow measuring and controlling system is present on the base of preparing some completed micro flow devices such as micropump and microvalve in this paper. All these micro flow devices are introduced, and the feasibility of this system is analyzed also.
出处
《测试技术学报》
1998年第3期98-103,共6页
Journal of Test and Measurement Technology
基金
自然科学基金资助项目
关键词
微流量
微流量传感器
测量
控制系统
micro flow
micropump
microvalve
micro flow sensor
PZT-drive
