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我国特种气体产业的发展
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2
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摘要
回顾了我国集成电路产业的发展历程,介绍了自“六五”以来电子特种气体攻关和产业化成绩,指出石油化工企业用标准气市场潜力巨大。
作者
梁国仑
机构地区
化工部光明化工研究设计院
出处
《低温与特气》
CAS
1998年第4期1-8,共8页
Low Temperature and Specialty Gases
关键词
电子气体
标准气体
中国
特种气体产业
分类号
TQ117 [化学工程—无机化工]
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低温与特气
1998年 第4期
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