薄膜功率负载设计与制作技术

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摘要介绍一种100W薄膜功率负载的设计与制作技术，设计指标为输入阻抗50Ω、频率0-6GHz、驻波≤1．3、最高表面温升≤75℃。该器件采用薄膜工艺生产。测试结果表明，它的最大功率可达250W，频率达到40GHz，并能在最高达250℃下可靠工作。功率负载已经被广泛应用于雷达，卫星通讯，电子对抗等军用领域和移动电话和商用基站等民用领域。

作者熊爱武

机构地区中国兵器工业第

出处《集成电路通讯》 2009年第4期1-4,27,共5页

关键词功率负载驻波薄膜工艺

分类号 TN820 [电子电信—信息与通信工程] U469.11 [机械工程—车辆工程]

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