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《中国表面工程》2010年第1期

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摘要表面热功能结构制造领域的发展及关键技术,等离子体浸没离子注入与沉积技术的发展及前沿问题。

出处《表面工程资讯》 2010年第1期47-48,共2页 Information of Surface Engineering

关键词表面工程等离子体浸没离子注入中国沉积技术制造领域功能结构溅射制备铝薄膜

分类号 TG174.444 [金属学及工艺—金属表面处理] TB1 [金属学及工艺—金属学]

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