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加速采用直接写入电子束光刻

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摘要有证据表明：电子束（EB）光刻对创新设计理念有重要帮助并有助于小批量芯片生产厂家继续生存下去。工业界有20家公司结成联盟旨在进一步推进直接写入EB光刻和开发EB设计知识（DFEB）。D2S（公司）是联盟中主要成员之一，它提供可进行直接写入EB光刻的软件和知识产权。

作者邓志杰（摘译）

出处《现代材料动态》 2010年第2期13-13,共1页 Information of Advanced Materials

关键词电子束光刻生产厂家设计理念设计知识知识产权小批量工业界联盟

分类号 TN305.7 [电子电信—物理电子学] TH122 [机械工程—机械设计及理论]

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现代材料动态

2010年第2期

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