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浅析磁控溅射镀膜玻璃“针孔”和“脱膜”现象被引量：1

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摘要根据多年维修、管理美国ＡＩＲＣＯ（爱柯）磁控溅射镀膜玻璃生产线的实践经验，全面分析了磁控溅射镀膜玻璃“针孔”和“脱膜”等膜面质量问题的原因和解决方法。

作者郭明

机构地区洛玻集团晶润镀膜玻璃公司

出处《玻璃》 1998年第5期41-44,共4页 Glass

关键词磁控溅镀膜玻璃针孔脱膜质量缺陷玻璃

分类号 TQ171.65 [化学工程—玻璃工业]

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玻璃

1998年第5期

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