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CBIR在半导体测量中的应用

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摘要 文章简要讨论了CBIR在半导体测量中的应用。从半导体生产测量的特点入手,阐述了利用CBIR进行半导体某些参数测量的可能性和实际意义,在此基础上提出了下一步工作进展的方向,以实现用数字化指导生产实践的目标。
作者 张健
出处 《中国高新技术企业》 2010年第1期61-62,共2页 China Hi-tech Enterprises
  • 相关文献

参考文献3

  • 1Grigorescu S E,Petkov N,Kruizinga P.Comparison of texture features based on gabor filters[].IEEE Transactions on Image Processing.2002 被引量:1
  • 2P.R.Bingham,J.R.Price,K.W.Tobin,T.R.Karnowski."Semiconductor sidewall shape cstimation"[].Journal of Electrocardiology.2004 被引量:1
  • 3Price Jeffery R,Bingham Philip R,Tobin Jr, etc.Estimating cross-section semiconductor structure by comparing top-down SEM images[].Proceedings of SPIE-Machine Vision Applications in Industrial Inspection XI.2003 被引量:1

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