摘要
在这篇论文中，一个能计算分子泵３Ｄ流动的数学模型被建立了。这个模型可以模拟在分子泵抽气通道内的气体分子速度与压力的分布。
Abstract In this paper, a new model that can calculate the 3D flows of molecular pump has been established. The model can simulate the velocity and pressure distribution of molecular in the pumping channel.
出处
《真空》
CAS
北大核心
1998年第5期14-17,共4页
Vacuum
