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提高高速压电倾斜镜应用带宽的方法 被引量:4

A Method for Increasing the Applied Bandwidth of Piezoelectric Fast Steering Mirror
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摘要 本文提出了一种基于薄板径向支撑的高速压电倾斜镜。首先根据拉格朗日方程建立了这种基于薄板径向支撑的高速压电倾斜镜简化模型的动力学方程,然后推导出了其倾斜方向谐振频率理论表达式;根据理论表达式可以预测倾斜镜的动态性能。在理论分析的基础上,我们制作了这种薄板结构,将其加入到原有结构倾斜镜中,进行了频响测试以及角行程测试分析。比较理论分析和实验测试分析的结果,证实了薄板部件的加入对于倾斜镜应用带宽的提高有显著作用。 A new method to increase the applied bandwidth of piezoelectric Fast Steering Mirror (FSM) is proposed. Firstly, according to the Lagrange Equation, dynamic equation for simplified model of this FSM was built based on radial fasten thin plane. Then, the final theoretical expression of the steering resonant frequency was deduced for purpose of predicting the dynamical performance of the FSM. On the base of the theoretical results, we fabricated this structure of thin plane, added it to the original FSM and took the frequency-response and angle-stroke experiments. Both the experimental results and theoretical analysis results proves that the radial fasten thin plane is useful in increasing the applied bandwidth of FSM.
出处 《光电工程》 CAS CSCD 北大核心 2009年第7期60-64,共5页 Opto-Electronic Engineering
关键词 高速压电倾斜镜 薄板径向支撑 动力学分析 自适应光学系统 piezoelectric fast steering mirror (FSM) radial fasten thin plane dynamic analysis adaptive optical system
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