摘要
提出了一种由电致动聚合物材料(DE)驱动的平面扩散/收缩管无阀微泵.通过分析扩散/收缩管的角度、长度、最小宽度等关键参数对微泵性能的影响,对无阀微泵的结构进行了设计.基于UV-LIGA工艺,将DE泵膜和SU-8泵体键合制作了无阀微泵的模型,并对DE泵膜结构进行了实验研究,确定了合理的结构形式,实现了微泵的单向泵送.在3 500 V、8 Hz直流正弦电压的作用下,无阀微泵的流量最大,为21.2μL/min,并且结构简单、易于密封、成本低.实验结果对电致动聚合物微泵进一步的科学研究和实际应用都具有较大的促进作用.
A dielectric elastomer （DE） valveless micropump with plane diffuser/nozzle elements is investigated. The structure of the valveless micropump is designed by analyzing the effects of angle, length, minimum width of the diffuser-nozzle to the diffusivity. Based on UV-LIGA technique, the DE diaphragms and the SU-8 structure are bonded and the valveless micropump is accomplished. A DE diaphragms structure is conformed by experiment to realize the pumping. The maximum flow rate of 21.2μL/min is achieved under 3 500 V,8 Hz sine wave. The valveless micropump with simple structure and lower cost demonstrates its further application foreground.
出处
《西安交通大学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2009年第7期92-95,共4页
Journal of Xi'an Jiaotong University
基金
国家高技术研究发展计划资助项目(2006AA04Z350)
关键词
电致动聚合物
微泵
结构设计
dielectric elastomer
micropump
structure design
