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台系设备厂切入薄膜太阳能非晶硅与CIGS成为主流

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摘要台系设备厂切入薄膜太阳能领域，目前主要以非晶硅及铜铟镓硒（CIGS）领域为主，台系设备业者指出：由于开发薄膜太阳能设备成功关键在于制程设备，其与半导体制程类似，为台系业者欠缺之技术，开发难度远较先期预期来的高，恐怕未来能在薄膜设备领域成功者仅少数。

出处《电子工业专用设备》 2009年第6期55-55,共1页 Equipment for Electronic Products Manufacturing

关键词制程设备太阳能非晶硅薄膜 CIGS 半导体制程膜设备开发

分类号 TN405 [电子电信—微电子学与固体电子学] TK519 [动力工程及工程热物理—热能工程]

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电子工业专用设备

2009年第6期

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