摘要
以金刚石微马达和微型谐振子结构制备为例，介绍化学气相沉积金刚石薄膜的两种选择生长技术。
The structrures of diamond micromotor and microresonator are fabricated to demonstrate two kinds of selective growth thechnologies of CVD diamond film respectively.
出处
《仪表技术与传感器》
EI
CSCD
北大核心
1998年第5期11-13,共3页
Instrument Technique and Sensor
基金
国家科委攀登计划B资助课题
关键词
金刚石薄膜
微马达
微振子
选择生长
Diamond Film, Micromotor, Microresonator, Selective Growth.
