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位置敏感器件在非接触测量中的应用分析 被引量:3

Analysis of PSD application for noncontact measurement
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摘要 阐明了激光三角法的测量原理.介绍PSD在非接触测量中的应用及其特点,并将PSD激光三角测量与CCD光三角测量及其它一些非接触测量方法进行了比较. In this paper the principle of a laser triangulation technique is presented. We introduce the PSD application for a noncontact measurement and its features,compare PSD laser triangulation measurement with CCD laser triangulation measurement and other kind of noncontact measurements,and review the application of laser triangulation technique.
出处 《西安工业学院学报》 1998年第2期153-156,共4页 Journal of Xi'an Institute of Technology
关键词 激光三角法 位移测量 位置敏感器件 非接触测量 noncontact laser triangulation method displacement measurement
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