金属剥离技术在声表面波滤波器中应用研究

下载PDF

导出

摘要本文采用金属剥离技术在ＬｉＮｂＯ３基片上成功地制备了１４０ＭＨｚ声表面波带通滤波器。通过选择最佳工艺参数，提高了声表面波滤波器的性能。

作者程知群毛友德

机构地区中国科学院上海冶金研究所合肥工业大学

出处《上海微电子技术和应用》 1998年第2期20-23,共4页

关键词金属剥离技术声表面波滤波器

1江兴.FSI国际宣布在硅化物形成步骤中的金属剥离技术取得突破[J].半导体信息,2008,0(5):28-28.
2邢素贤,程足捷,王中文.等平面和金属剥离工艺在低电容高可靠晶体管生产中的应用[J].辽宁大学学报（自然科学版）,1997,24(2):46-50. 被引量：1
3本刊通讯员.FSI国际宣布在硅化物形成步骤中的金属剥离技术取得突破[J].电子与封装,2008,8(2):47-47.
4谢生,侯玉文,陈朝,毛陆虹,陈松岩,吴逢铁(英文审校).退火对NiCr薄膜阻值的影响分析[J].华侨大学学报（自然科学版）,2009,30(1):27-29. 被引量：2
5许四科,刘刚,高益,于军.通讯用高基频带通声表面波滤波器的设计[J].压电与声光,2006,28(2):127-129. 被引量：1
6陈江义,乔明明.声表面波带通滤波器设计仿真软件研究[J].郑州大学学报（工学版）,2010,31(2):113-116.
7陶雄强,陈抗生,朱怀烈,贝伟斌.使用Remez交换算法优化设计带有MSC的声表面波带通滤波器[J].压电与声光,1995,17(3):8-11. 被引量：2
8马惠铖.基于声表面波传感器的新型频率测量法的研究[J].现代电子技术,2015,38(8):136-138.
9朱琳,李锵,刘开华.基于ADS的声表面波单端对谐振器建模[J].压电与声光,2012,34(2):169-172. 被引量：2
10王代强,姚祖铭,陈雨青,杨发顺,龚红,刘桥.圆形IDT结构声表面波滤波器的设计与实现[J].电子元件与材料,2013,32(4):50-53. 被引量：1

上海微电子技术和应用

1998年第2期

浏览历史

内容加载中请稍等...