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硅微声压传感器被引量：1

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摘要随着传感器技术和硅微机械加工技术的发展,唤起了对制造微小型麦克风、拾音器等微声压传感器的兴趣．人们将这些技术和古典的转换原理结合起来,研究了基于电压、压阻。

作者蔡公和刘忠玉蔡丽梅

机构地区东北传感技术研究所

出处《传感技术学报》 CAS CSCD 1998年第2期56-62,共7页 Chinese Journal of Sensors and Actuators

关键词硅微声压传感器压阻式传感器

分类号 TP212.02 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]

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传感技术学报

1998年第2期

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