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氦质谱检漏技术在继电器及集成电路外壳中的应用 被引量:2

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摘要 以密封继电器、集成电路外壳的漏率检测为例,分别介绍了背压法检漏技术、喷吹法检漏技术的应用,并就不同的检漏方法进行了分析,明确了可能造成检测误差的因素,提出相关改进建议。
作者 赵锐敏
出处 《机电元件》 2009年第1期51-54,共4页 Electromechanical Components
  • 相关文献

参考文献1

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同被引文献8

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引证文献2

二级引证文献3

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