摘要
在3月17—19日于上海新国际博览中心所举行的SEMICON China 2009展会上，全球最大的碳素石墨材料及相关产品供应商德国西格里集团（SGL Group The Carbon Company）不仅将向业界展示应用于半导体行业的碳素石墨产品，更会特别推出新投入使用的可达业界最高标准的石墨纯化设备。此次西格里集团在展会上特别推出的纯化炉是为了满足要求极高的半导体、光伏及光纤行业所需的一流专业的纯化部件而从国外进口的设备，并在去年10月正式投入生产。据了解，该纯化炉可纯化最大直径和高度超过一米的石墨部件，
出处
《中国集成电路》
2009年第3期10-10,共1页
China lntegrated Circuit
