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GZP-2全自动硅片装片机的研制 被引量:3

Development of GZP-2 Automatic Coading Wafer Machine
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摘要 太阳能电池制造过程中,有多个工序需将硅片装入篮具中,目前的人工装片方式碎片率高、对硅片的污染多。装片机可以代替人工装片,克服人工装片的缺点。主要介绍了GZP-2全自动硅片装片机研制过程中所涉及的机械结构,电气控制等方面的技术,对整机的工作原理、特性和技术创新等做了详细的叙述。 During manufacture of solar cell, the movement that wafers are loaded in the baskets is needed in many procedures presently. Manual loading wafer can cause a highrate of broken wafer, and the pollution of wafer. The loading wafer machine can replace manual loading wafer meanwhile overcome the flaw of manual loading wafer. Introduce the mechanical structure and electric control of GZP - 2 automatic loading wafer machine. The working principle, feature and technique innovation of the machine are given in detail.
出处 《电子工艺技术》 2008年第6期348-351,共4页 Electronics Process Technology
关键词 光伏 硅片 装片 太阳能电池 Photovoltaic Wafer Loading Solar cell
  • 相关文献

参考文献3

  • 1张厥宗..硅单晶抛光片的加工技术[M],2005.
  • 2MichaelQuirk JulianSerda(美).半导体制造技术[M].北京:电子工业出版社,2004.. 被引量:21
  • 3吴宗泽.机械零件设计手册[M].北京:机械工业出版社,2003.. 被引量:47

共引文献66

同被引文献10

引证文献3

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