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千兆位器件生产时代的污染控制

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摘要千兆位器件生产时代的污染控制＠ＨｉｒｏｓｈｉＫｉｔａｉｊｉｍａ＠ＹｏｓｈｉｍｉＳｈｉｒａｍｉｚｕ￥ＮＥＣ公司ＶＬＳＩ器件开发研究室千兆位器件生产时代的污染控制ＨｉｒｏｓｈｉＫｉｔａｉｊｉｍａ和ＹｏｓｈｉｍｉＳｈｉｒａｍｉｚｕ著万力译ＮＥＣ公司ＶＬＳＩ器件开...

作者 HiroshiKitaijima YoshimiShiramizu

机构地区 NEC公司VLSI器件开发研究室

出处《电子工业专用设备》 1997年第4期50-53,共4页 Equipment for Electronic Products Manufacturing

关键词 VLSI 微粒污染控制净化室 HEPA

分类号 TN470.5 [电子电信—微电子学与固体电子学] X513.06 [环境科学与工程—环境工程]

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电子工业专用设备

1997年第4期

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