摘要
介绍了 PCVD 表面强化设备的发展概况及一种新研制开发的工业生产型 PCVD 工模具表面强化设备。用该设备可以制备 TiN 系薄膜和 TiSiN,TiAlN 等多元系薄膜;批量处理各类金属切削刀具和模具,显著提高工模具的使用寿命。
The development of PCVD(Plasma Aided Chemical Vapour Deposition)equipment is reviewed and a new type of equipment for mass production is introduced,by which TiN,TiSiN and TiAIN films can be made,and vari- ous cutting tools and dies can be treated in batches.The service life of tools and dies can be markedly prolonged.
出处
《航空工艺技术》
1997年第4期26-27,共2页
Aeronautical Manufacturing Technology
基金
国家自然科学基金
