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碳化硅单晶炉研制成功

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摘要近期，山东省光电子产业取得突破性进展，山东大学晶体材料国家重点实验室碳化硅单晶炉研制成功，制约山东光电子发展的主要瓶颈已被打破。

出处《电子工业专用设备》 2008年第8期59-59,共1页 Equipment for Electronic Products Manufacturing

关键词单晶炉碳化硅国家重点实验室光电子产业晶体材料山东大学山东省突破性

分类号 TF806.9 [冶金工程—有色金属冶金] TQ174.758 [化学工程—陶瓷工业]

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电子工业专用设备

2008年第8期

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