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巴斯夫与赢创合作研发化学机械研磨(CMP)液
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摘要
赢创和巴斯夫共同宣布,两家公司将共同合作发展二氧化铈研磨液,用以制造计算机芯片。预计,这种研磨液将在2009年实现商品化。
出处
《现代塑料》
2008年第8期12-12,共1页
Plastics Technology
关键词
合作发展
化学机械研磨
巴斯夫
研发
计算机芯片
二氧化铈
研磨液
商品化
分类号
TN405.96 [电子电信—微电子学与固体电子学]
F127 [经济管理—世界经济]
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刘秀英,李文范.
常温C_eO_2气敏元件的气敏性[J]
.化学传感器,1990,10(2):60-62.
被引量:2
2
巴斯夫与赢创合作研发先进的CMP液[J]
.中国集成电路,2008,17(8):5-5.
3
刘涛,于高洋,周国安.
选择性抛光液的研究[J]
.电子工业专用设备,2009,38(6):36-39.
被引量:3
4
张烨.
美国研制出添加二氧化铈的丙烷燃料电池[J]
.稀土信息,2005,11(7):13-13.
5
许怀,程秀兰.
二氧化铈研磨液在化学机械平坦化中的应用[J]
.半导体技术,2007,32(8):657-660.
被引量:4
6
程文芳.
首次合成应用于硅晶片抛光的球形单晶纳米材料[J]
.半导体信息,2006,0(4):11-12.
7
孟黎清,李红耘,熊西周,罗绍华.
Ce掺杂的TiO_2电容-压敏材料结构和电性能研究[J]
.电瓷避雷器,2003(6):38-42.
被引量:6
8
李建明,刘文利,裘南畹,吕红浪.
粉末溅射平面薄膜型SnO_2/CeO_2酒敏传感器[J]
.电子学报,1996,24(5):114-116.
被引量:15
9
柴春林,杨少延,刘志凯,廖梅勇,陈诺夫,王占国.
质量分离的双离子束沉积法生长CeO_2(111)/Si薄膜[J]
.稀有金属,2001,25(6):401-403.
10
汪多仁.
纳米稀土二氧化铈的开发与应用[J]
.聚合物与助剂,2008(1):21-24.
现代塑料
2008年 第8期
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