GaAs 薄膜电沉积的机理与工艺研究被引量：3

A STUDY ON THE MECHANISM AND TECHNOLOGY OF THE GaAs FILM ELECTRODEPOSITION

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摘要报道了电共沉积制备ＧａＡｓ簿膜的原理与工艺。通过优化工艺参数，在不同的基片上成功地得到了成分接近化学计量比的ＧａＡｓ薄膜。 Electradeposition mechanism and technology for preparing GaAs films is described in this paper. The near stoichiometric GaAs film on the different substrates is obtained.

作者韩爱珍林逸青赵永春高元恺

机构地区哈尔滨工业大学

出处《太阳能学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1997年第4期376-379,共4页 Acta Energiae Solaris Sinica

关键词薄膜电沉积机理工艺砷化镓 GaAs film,electrodeposition, mechanism, technology

分类号 TN304.23 [电子电信—物理电子学]

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太阳能学报

1997年第4期

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