金属部件表面处理用的等离子体浸没离子植入机的研制
-
1拾灵.等离子体浸没离子植入:意义、限制和前景[J].等离子体应用技术快报,2000(11):1-4.
-
2蓉佳.钢的金属PIII表面改性[J].等离子体应用技术快报,2000(10):6-7.
-
3王惠三.利用等离子体浸没离子植入改变金属表面的机械和化学特性[J].等离子体应用技术快报,1999(3):1-5.
-
4李乐.利用脉冲等离子体进行等离子体浸没离子植入[J].等离子体应用技术快报,1998(10):7-8.
-
5蒋永鹂.等离子体浸没位形中的动态混合沉积/植入[J].等离子体应用技术快报,2000(9):12-13.
-
6王惠三.用于冶金和半导体研究与开发的等离子体浸没离子植入[J].等离子体应用技术快报,1998(3):1-5.
-
7刘爱国,王小峰,汤宝寅,王松雁,田修波,曾照明,朱剑豪.内表面等离子体浸没离子注入过程的数值模拟[J].哈尔滨工业大学学报,2000,32(1):111-115. 被引量:2
-
8蓉佳.钛金属的甲烷,氮等离子体浸没离子侵入[J].等离子体应用技术快报,1999(4):5-6.
-
9民丁.用等离子体浸没离子植入进行离子辅助表面改性[J].等离子体应用技术快报,1999(6):8-10.
-
10王惠三.利用等离子体浸没技术进行高剂量纯金属离子注入[J].等离子体应用技术快报,2000(6):5-7.
;