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HL—1M装置第一壁的硅化和锂涂复

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摘要 分别用10%SiH4+90%He辉光放电和真空室原位蒸锂并借助He辉光放电的等离子体气相沉积法对H-1M装置的内壁进行了硅化和锂涂复,进一步降低了装置硼化后的杂质和辐射功率损失,对氢有强轴气效应和低再循环特性,为多发弹丸注入,低混杂波电流驱动等物理实验取得重大成果提供了重要条件。
出处 《四川真空》 1997年第2期28-36,15,共10页
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