摘要
叙述了在ＧＬＺ－１００Ｅ工业离子注入机上采用２０～６０ｋｅＶ氮离子及氮分子离子注入人造金刚石晶体的实验研究。ＸＰＳ分析表明，注入离子在人造金刚石颗粒表面形成了一层较为稳定的含氮混合物层。高温差热分析（ＤＴＡ）的实验表明，经氮离子束处理的金刚石，其氧化起始温度Ｔ（ｏｎｓｅｔ）由原来的７３０℃左右提高到８００℃以上，且随着氮注入剂量的增加而增加，氧化速度也随之变缓；差热分析还表明，随着温度的升高，金刚石首先转化为石墨（ＤＴＡ曲线上表现为吸热），然后氧化燃烧生成ＣＯ２（放热），而注入离子能量的增加，氧化温度的提高幅度略有下降。离子注入还使其高温石墨化性能显著改善。
Synthetic diamond crystals implanted with 20～70keV N + have been investigated.The heat resistance of the implanted synthetic diamond crystals were measured by DTA.It shows that its heat resistance increased with the ion doses,though this enhancement slows down as the ion energy increases,it also shows that transformation of the ion implanted diamond into graphate under high temperature condition was greatly improved.
出处
《高压物理学报》
CAS
CSCD
北大核心
1997年第4期303-306,共4页
Chinese Journal of High Pressure Physics
