摘要
本文介绍了采用表面修饰技术,利用气敏元件表面覆盖生长的SiO_2分子膜的滤过作用,得到高选择性SnO_2半导体H_2敏感元件的方法,并对元件的特性及机理进行了分析.
In this paper, the author apply surface decorate technical,utilize the affect of SiO2 to obtain the high selectivty. SnO2 semiconductor hydrogen sensor.And make a analysis of specific property.
出处
《传感器世界》
1997年第9期40-42,共3页
Sensor World
关键词
灵敏度
稳定性
表面覆膜
半导体
气敏元件
Gas Sensor Hydrogen, High Sensitivity, High Stability, High Selectivity, Surface Coating
