电子显微镜（SEM）新产品——复合光束加工观测装置

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摘要日本电子近日上市了电子显微镜（SEM）新产品——复合光束加工观测装置“JIB-4500”。该产品具备获取并分析表面和内部三维图像的能力，除了聚焦离子束（FIB）加工和SEM观测功能外，还可利用能量分散型X射线分析装置（EDS）和电子背散射衍射（EBSD）系统进行分析。

出处《机电工程技术》 2008年第2期4-4,共1页 Mechanical & Electrical Engineering Technology

关键词电子显微镜观测装置加工产品光束复合电子背散射衍射聚焦离子束

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机电工程技术

2008年第2期

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