等倾干涉仪的机器视觉自动化改造被引量：1

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摘要用传统等倾干涉仪测量平晶平面度，需靠肉眼从目镜观察，通过旋转测微鼓轮在分划板反复压线估读干涉环直径，这样做不仅准确度低，而且工作强度大、效率低。用机器视觉与计算机技术能解决以上问题：计算机对电荷耦合器（CCD）采集的干涉图进行处理，再同时测量多条干涉同心环直径并计算标准干涉环直径风；遍历所有检定点后。计算机通过数据处理自动得到各检定点的平面度数值。

作者汤昌社周建友

机构地区广东省计量科学研究院

出处《中国计量》 2008年第2期68-69,共2页 China Metrology

基金国家质检总局科技项目(20005QK73)

关键词机器视觉干涉仪自动化改造计算机技术同时测量电荷耦合器工作强度计算标准

分类号 TH744.3 [机械工程—光学工程]

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