用X射线干涉仪检定亚纳米级位移量
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1王林,李达成,曹芒,曹世志,L.Koenders,U.Kuetgens,P.Becker.X射线干涉仪实现扫描探针显微镜样板线间距纳米测量[J].光学学报,2000,20(12):1675-1679. 被引量：1
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2王林,曹芒,李达成.用于纳米测量的扫描X射线干涉技术[J].光学精密工程,1998,6(1):47-52. 被引量：4
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3王林,李达成,曹芒.X射线干涉仪中单晶硅微动工作台的研制[J].仪器仪表学报,2000,21(6):654-656. 被引量：3
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4王慧.新型纳米测量技术的模拟研究[J].红外与激光工程,1997,26(5):48-53. 被引量：1
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5陈建文,高鸿奕,朱化凤.孪生波带片X射线干涉仪[J].科技开发动态,2005(6):43-44.
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6王林,曹芒,李达成.X射线干涉测量技术的最新进展[J].光学技术,1998,24(4):7-10. 被引量：2
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7高宏刚,曹健林,陈星旦.浮法抛光亚纳米级光滑表面[J].光学学报,1995,15(6):824-825. 被引量：13
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8段小艳,任冬梅,朱振宇,李华丰,兰一兵.基于法布里-珀罗干涉仪的微位移测量方法研究[J].计测技术,2013,33(1):23-25. 被引量：5
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9刘洋.光谱成像进入亚纳米量级[J].环球科学,2013(8):21-21.
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10曲兴华,王丽华.基于激光技术的亚纳米级位移测量系统的研究[J].仪器仪表学报,2010,31(6):1276-1281. 被引量：21
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