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APC/AEC使新器件节点成为可能

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摘要为了能够应对更加复杂的工艺和更脆弱的器件特性,APC/AEC要求更多更好的实时工具数据。

作者 Alexander E.Braun

机构地区 Semiconductor International

出处《集成电路应用》 2007年第9期24-28,共5页 Application of IC

关键词 AEC APC 新器件节点器件特性

分类号 TN915 [电子电信—通信与信息系统]

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集成电路应用

2007年第9期

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