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SUSS MicroTec提高BlueRay^TM探测系统的性能

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摘要在此次Semicon China上，SUSSMicroTec展出了BlueRay^TM探测系统，这是一种高产量的晶片探测系统，每小时能够测试70，000个晶粒。它是世界唯一可以在现场从半自动化升级完全自动化的探测系统。

出处《电子技术（上海）》 2007年第4期80-80,共1页 Electronic Technology

关键词系统探测 SEMICON 性能全自动化半自动化晶片

分类号 TN3-28 [电子电信—物理电子学]

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电子技术（上海）

2007年第4期

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