纳米小球掩模技术
摘要
介绍一种纳米小球掩模技术.给出了这种掩模技术的原理和实验方法,分析了这种掩模中存在的各种缺陷及其原因和改进方法.并纠正了早期工作中对一些现象的误解.以这种掩模技术给出的各种金属小岛作为研究手段,提出了薄膜岛状生长研究的一种新的思路.
出处
《中国科学（A辑）》
CSCD
1996年第8期729-734,共6页
Science in China(Series A)
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