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基于原子力显微镜的悬臂梁微尖端器件应用新进展 被引量：1

Application of AFM-based Cantilever with Micro-probe
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摘要 在分析原子力显微镜工作原理的基础上,详细介绍了各种基于原子力显微镜的悬臂梁微尖端器件的应用进展,并展望了悬臂梁微尖端器件的发展前景。 This paper introduces the work principle of AFM, and discusses the recent application of several AFM-based cantilevers with micro-probe in detail. Finally, it indicates the way this kind of devices will follow.
作者 傅剑宇 陈大鹏 焦斌斌 欧毅 景玉鹏 董立军 叶甜春
机构地区 中科院微电子研究所硅器件与集成技术研究室
出处 《电子工业专用设备》 2007年第1期10-14,共5页 Equipment for Electronic Products Manufacturing
基金 国家自然科学基金资助项目(批准号:60576053) 国家"63"计划资助项目(批准号:2005AA404210)
关键词 原子力显微镜 悬臂梁 微尖端 AFM Cantilever Micro-probe
分类号 TN741.8 [电子电信—电路与系统]
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参考文献21

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共引文献4

同被引文献4

引证文献1

二级引证文献5

电子工业专用设备
2007年 第1期

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