摘要
指出了有些洁净室在设计及使用中出现的一些常见问题,对产生问题的原因进行了分析和探讨,并提出一些建议。
This paper indicates the problems commonly occurred in design and use of some cleanrooms, analyzes the reason of the problems, and puts forward some advices.
出处
《洁净与空调技术》
2006年第B12期46-48,共3页
Contamination Control & Air-Conditioning Technology
关键词
洁净室
设计
使用
常见问题
Clean-room Design Use Common problems