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Si基复合衬底碲镉汞液相外延技术的研究

The Study of Hg_(1-x)Cd_xTe LPE on Silicon Composite Substrates
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摘要 文章报道了采用Si基复合衬底,利用液相外延方法成功进行中波碲镉汞薄膜生长的情况,并且采用X光双晶衍射、X光形貌、红外付立叶光谱仪等手段对碲镉汞薄膜进行了表征。Si基复合衬底碲镉汞外延膜晶体结构为单晶,并且它的双晶衍射半峰值接近国外同类产品的先进水平。 In the article the good result of LPE MW Hg1-xCdxTe on silicon composite substrates is presented, The Hg1-xCdxTe epilayer was characterized with X-ray diffraction, X-ray topography and FTIR. The LPE MW Hg1-xCd,Te on silicon composite substrate is single crystal, and its FWHM is as low as that of the best result published before.
出处 《激光与红外》 CAS CSCD 北大核心 2006年第11期1054-1056,共3页 Laser & Infrared
关键词 碲镉汞 液相外廷 Si基复合村底 HgCdTe LPE silicon composite substrates
  • 相关文献

参考文献3

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