TDG-28型大直径区熔单晶炉

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摘要 TDG-28型大直径区熔单晶炉集精密加工、高频、真空、自动控制等技术于一体,是我国第一台带有晶体夹持机构、完全国产化的区熔装置。本文着重介绍TDG-28型大直径区熔单晶炉的主要技术指标和性能特点。一、主要技术指标为了便于比较,我们将丹麦托普索公司1980年设计的FZ-14型区熔炉及美国西方技术公司70年代末研制的145型区熔炉的有关技术指标列于表1。

作者盛耀昌

机构地区东风电机厂

出处《电工技术杂志》 1990年第3期34-36,共3页 Electrotechnical Journal

关键词单晶炉区熔装置大直径 TDG-28

分类号 TF806.9 [冶金工程—有色金属冶金]

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1盛耀昌.TDG—28型大直径区熔单晶炉[J].东方电气评论,1990,4(4):270-273.
2汪大胜.TDL—FZ35型区熔单晶炉的调速系统[J].LSI制造与测试,1992,13(6):33-39.
3赵海泉,甘晓靳.400mm厚板坯连铸机的发展及结果[J].太钢译文,2015,0(2):18-25.
4张树敕,马学陶.TDL—FZ35型区熔单晶炉下传动部件的设计与制造[J].LSI制造与测试,1992,13(6):28-32.
5梁秀梅,张冰毅.区熔单晶炉下轴旋转电机改型设计[J].电子工业专用设备,1999,28(4):32-34.
6兰若.川崎公司用直型结晶器取代弧型结晶器[J].钢铁,1993,28(10):84-85.
7徐丽琴,徐来自,张雪峰,李永峰.关于“暗物质”的猜测(宇宙两暗问题探索之二)[J].内蒙古科技大学学报,2016,35(1):1-7. 被引量：2

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