沉积控制器

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摘要 XTC／3型薄膜沉积控制器可以高精确控制薄膜的沉积速率和厚度。为了确保质量一致，该控制器还具有可靠的防止模式跳变功能，并且有两种款型的控制能力高达99步工艺和999层薄膜。XTC／3可以与该公司的Crystal 12、Crystal Six以及双传感器配合使用，可以监控沉积速率连续的自发置换型晶体沉积。该系统还具有用于生产的高可靠性和可选择独立或是PC控制的特点。

机构地区 Inficon

出处《集成电路应用》 2006年第10期54-54,共1页 Application of IC

关键词沉积速率控制器 CRYSTAL 薄膜沉积精确控制双传感器 PC控制高可靠性

分类号 TP273 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]

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