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供材料处理和试验用的LaB6空心阴极弧等离子体源
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职称材料
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作者
楚山
出处
《等离子体应用技术快报》
1996年第12期10-11,共2页
关键词
材料处理
空心阴极
等离子体源
分类号
O531 [理学—等离子体物理]
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1
Lunk,A,高文娟.
通过空心阴极弧(HCA)实现等离子体活化物理汽相沉积(P…[J]
.国外核聚变与等离子体应用,1992(2):72-75.
等离子体应用技术快报
1996年 第12期
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