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异或门鉴相在计量光栅检测中的应用
被引量：
3
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摘要
本文比较了异或门鉴相与双稳态鉴相的差异，指出采用异或门鉴相原理在检测计量光栅刻划误差中的优势，介绍了在实际工作中得到验证的情况。
作者
杨进堂
机构地区
中国科学院长春光学精密机械研究所
出处
《计量技术》
1996年第9期11-13,共3页
Measurement Technique
关键词
计量光栅
误差
测量
分类号
TH741.6 [机械工程—光学工程]
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