摘要
简述气相沉积法基本原理和工艺。
出处
《中国钼业》
1996年第5期16-20,共5页
China Molybdenum Industry
共引文献3
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1聂俊辉,李一,贾成厂,石文.羰基金属复合材料的研究与应用[J].粉末冶金工业,2008,18(2):46-53. 被引量:6
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2白书欣,牛顿,朱利安,叶益聪.化学气相沉积法制备难熔金属的研究现状与前景[J].硬质合金,2018,35(6):381-389. 被引量:4
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3张文忠,蔡晓兰,周蕾,王子阳,余明俊,彭刚,郭鲤.碳纳米管表面包覆研究进展[J].化工新型材料,2014,42(7):15-17.
同被引文献50
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1屈子梅.共热解法制取羰基镍铁合金粉[J].粉末冶金材料科学与工程,1997,2(3):216-221. 被引量:2
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5李汉广.独联体国家的难熔金属氟化物化学气相沉积技术(上)[J].稀有金属与硬质合金,1994,22(4):59-62. 被引量:14
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9章娴君,郑慧雯,张庆熙,王显祥.MOCVD法制备金属陶瓷功能梯度材料的研究[J].西南师范大学学报(自然科学版),2005,30(4):682-686. 被引量:5
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引证文献4
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1王炳根,屈子梅.气相沉积法制取包复粉末[J].中国钼业,1996,20(5):16-20. 被引量:4
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2聂俊辉,李一,贾成厂,石文.羰基金属复合材料的研究与应用[J].粉末冶金工业,2008,18(2):46-53. 被引量:6
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3白书欣,牛顿,朱利安,叶益聪.化学气相沉积法制备难熔金属的研究现状与前景[J].硬质合金,2018,35(6):381-389. 被引量:4
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4张文忠,蔡晓兰,周蕾,王子阳,余明俊,彭刚,郭鲤.碳纳米管表面包覆研究进展[J].化工新型材料,2014,42(7):15-17.
二级引证文献14
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1王炳根,屈子梅.气相沉积法制取包复粉末[J].中国钼业,1996,20(5):16-20. 被引量:4
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2聂俊辉,李一,贾成厂,石文.羰基金属复合材料的研究与应用[J].粉末冶金工业,2008,18(2):46-53. 被引量:6
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3蒋学先.铜镍合金成份对镍羰化的影响[J].有色金属(冶炼部分),2009(5):48-51. 被引量:1
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5李浩然,刘欣伟,马玉文,赖斌.羰基镍生产技术的发展现状[J].粉末冶金技术,2011,29(4):290-295. 被引量:3
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9白书欣,牛顿,朱利安,叶益聪.化学气相沉积法制备难熔金属的研究现状与前景[J].硬质合金,2018,35(6):381-389. 被引量:4
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10张文忠,蔡晓兰,周蕾,王子阳,余明俊,彭刚,郭鲤.碳纳米管表面包覆研究进展[J].化工新型材料,2014,42(7):15-17.
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7胡文斌,张龙,王建江,谢志学,程勇,娄鸿飞.Ti(C,N)材料的研究进展[J].材料导报,2010,24(23):29-33. 被引量:5
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9张多默,刘志宏,陈慧光,葛荣德,张传福,段学臣,姚珍刚,赵天从.特种粉体材料的研制[J].中南矿冶学院学报,1994,25(4):540-542. 被引量:1
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10蔡宗英,张莉霞,李运刚.电沉积硅技术的历史和发展趋势[J].湿法冶金,2004,23(4):188-190. 被引量:4
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